GBT-蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法.pdf

ICS77.040

CCSH17

GB/TXXXXX-XXXX

中华人民共和国国家标准

GB/TXXXXX-XXXX

蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的

测定方法

Testmethodfordetermininggeometricalparametersofpatternson

patternedsapphiresubstrate

（草案）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

GB/TXXXXX-XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化

技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。

本文件起草单位：黄山博蓝特半导体科技有限公司、广东中图半导体科技股份有限公司、华灿光电

股份有限公司、福建晶安光电有限公司等

本文件主要起草人：xxx

GB/TXXXXX-XXXX

蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法

1范围

本文件规定了蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法。

本文件适用于蓝宝石图形化衬底表面单个图形与图形阵列的几何特征参数测量。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

蓝宝石图形化衬底patternedsapphiresubstrate(PSS)

表面上具有周期性图形阵列的蓝宝石衬底。

3.2

边缘去除区edgeexclusionarea

图形化衬底上，从衬底边缘到质量控制区域间的径向宽度。

3.3

图形Pattern

在蓝宝石衬底表面阵列排布或单独排列的几何结构。