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扫描电子显微镜及能谱仪主讲教师：×××
1扫描电子显微镜的原理2扫描电子显微镜的参数3扫描电子显微镜的应用4能谱的工作原理5能谱的分析特点与应用
扫描电子显微镜的原理1
人肉眼的观察能力能分辨的最小距离只能达到0.2mm左右。显微镜：把微观形貌放大几十倍到几十万倍，以适应人眼的分辨能力。扫描电子显微镜的原理显微镜的作用
扫描电子显微镜的原理扫描电子显微镜扫描电子显微镜，简称为扫描电镜，英文缩写为SEM（ScanningElectronMicroscope）。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱（EDS）组合，可以进行成分分析。
扫描电子显微镜的原理俄歇电子阴极荧光背散射电子二次电子X射线入射高压电子束样品吸收电子电子束与固体的相互作用
二次电子一般都是在表层5-10nm深度范围内发射出来的，它对样品的表面形貌十分敏感，因此，能非常有效地显示样品的表面形貌。它的产额与原子序数Z没有明显关系，不能进行成分分析。扫描电子显微镜的原理二次电子
扫描电子显微镜的原理背散射电子?
扫描电子显微镜的原理X射线通过特征波长检测相应元素，进行微区成分分析-EDS，这就是我们俗称的EDS成分分析。
扫描电子显微镜的原理SEM的主要结构
扫描电子显微镜的参数2
扫描电子显微镜的参数厂家型号ThermoFisherScientificApreo2C分辨率15kV时0.9nm放大倍率30～1，000，000倍电子束流1pA～50nA（400nA可选），连续可调成像探头SE，T1（BSE），T2，DBS建设时间价值ThermoFisherScientificApreo2C
扫描电子显微镜的应用3
扫描电子显微镜的应用扫描电子显微镜的应用领域扫描电子显微镜是一种多功能的仪器，具有很多优越的性能，是用途最为广泛的一种仪器，它可以进行如下分析：观察纳米材料。所谓纳米材料就是指组成材料的颗粒或微晶尺寸在0.1～100nm范围内。进行材料断口的分析。它显示的断口形貌从深层次、高景深的角度呈现材料断裂的本质，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析的判定是一个强有力的手段。
扫描电子显微镜的应用扫描电子显微镜的应用领域扫描电子显微镜是一种多功能的仪器，具有很多优越的性能，是用途最为广泛的一种仪器，它可以进行如下分析：直接观察大试样的原始表面。它能够直接观察大试样,能真实观察试样本身物质成分不同的衬度（背反射电子象）。观察厚试样。其在观察厚试样时，能得到高的分辨率和最真实的形貌。?
扫描电子显微镜的应用扫描电子显微镜的应用领域扫描电子显微镜是一种多功能的仪器，具有很多优越的性能，是用途最为广泛的一种仪器，它可以进行如下分析：观察试样的各个区域的细节。试样在样品室中可动的范围非常大。不规则形状试样的细节观察带来极大的方便。进行从高倍到低倍的连续观察。扫描电子显微镜的放大倍数范围很宽，这对进行事故分析特别方便。
扫描电子显微镜的应用扫描电子显微镜的应用领域扫描电子显微镜是一种多功能的仪器，具有很多优越的性能，是用途最为广泛的一种仪器，它可以进行如下分析：观察生物试样。扫描电镜以光栅状扫描方式照射试样，对观察一些生物试样特别重要。进行动态观察。在样品室内装有相应附件时，则可以观察相变、断裂等动态的变化过程。从试样表面形貌获得多方面资料。扫描电子显微镜除了观察表面形貌外，还能进行成分和元素的分析。
由于扫描电子显微镜具有上述特点和功能，所以越来越受到科研人员的重视，用途日益广泛。扫描电子显微镜已广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。扫描电子显微镜的应用应用领域
扫描电子显微镜的应用高分子材料的形貌观察
扫描电子显微镜的应用
扫描电子显微镜的应用
扫描电子显微镜的应用
扫描电子显微镜的应用金属合金的形貌观察
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扫描电子显微镜的应用
扫描电子显微镜的应用陶瓷的形貌观察
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扫描电子显微镜的应用石墨烯的形貌观察
扫描电子显微镜的应用
扫描电子显微镜的应用
扫描电子显微镜的应用包裹材料的形貌观察
扫描电子显微镜的应用
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扫描电子显微镜的应用生物样品的形貌观察
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扫描电子显微镜的应用生物样品的形貌观察
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能谱的工作原理4
能谱的工作原理样品受高能电子束的轰击而激发出的特征X射线，特征X射线穿过S
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