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;CATALOGUE;01;;发展历程;;培训目标;02;杂质与缺陷控制;介绍薄膜的三种基本生长方式（岛状生长、层状生长、混合生长），并分析各自的特点。;;关键参数对薄膜性能影响分析;03;设备组成部件及功能介绍;操作前准备;真空度异常;日常维护;04;详细阐述LPCVD工艺在典型产品制备中的各个步骤，包括硅片准备、反应气体选择、沉积温度与时间控制等。;;;;05;质量管理体系建立与实施要点;;危险源辨识与风险控制措施;;06;培训效果得到广泛认可;;;;THANKS
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