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摘要
随着功率器件集成化程度的提高,对芯片材料的性能有了更高要求,而传统的硅(Silicon,Si)基半导体也已经达到了材料物理特性的理论极限。被誉为第三代宽禁带半导体的碳化硅(SiliconCarbide,SiC),与Si相比具有更加优越的电学性能与热学性能,因此SiC功率模块在高温高频领域有着极为广泛的应用。烧结银焊料由于具有较高的热导率和熔点,契合了SiC功率器件中对焊料层的要求,一直被人们青睐于作为SiC芯片与基板之间的粘结材料。烧结银焊料是由纳米银颗粒与有机溶剂混合而成,在烧结完成后具有多孔微观结构,这使得烧结银焊层的力学性能和热学性能与微观结构密切相关。
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