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其身正,不令而行;其身不正,虽令不从。——《论语》
GMP质量管理(9)文件编号:ZL/SOP/ZK/02100
洁净室尘埃粒子检测标准操作规程
⒈目的:阐述洁净室(区)中悬浮粒子的测试方法,用以规范员工的检测
操作。
⒉范围:适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作
⒊责任:生产车间、生产部、质量管理部、QC检验室主任、检验员。
⒋测依据:
⒌内容:
5.1仪器:光散射粒子计数器和滤膜显微镜。
光散射粒子计数器用于粒径≥0.5μm;滤膜显微镜用于粒径≥5μm的悬浮
粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格按照仪器说明书操作。
5.2测定标准
悬浮粒子最大允许数/立方米(a)
洁净度
静态(b)动态(b)频次
级别
≥0.5μm(d)≥5μm≥0.51μm(d)≥5μm
100级3500135001一次/月
10000级350013500002000一次/月
100000级3500002000350000020000一次/月
300000级350000020000不作规定不作规定
5.3测试方法
5.3.1仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。
5.3.2采样管口置采样点采样时,在确认计数稳定后方可开始连续读数。
5.3.4采样管必须干净、严禁渗漏。
5.3.5采样管的长度应根据仪器的允许长度,除另有规定外,长度不大于
1.5m。
5.3.6计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下,以免产生
第1页共5页
其身正,不令而行;其身不正,虽令不从。——《论语》
GMP质量管理(9)文件编号:ZL/SOP/ZK/02100
测量误差。
5.3.7必须按照仪器的检定周期,定期对仪器作检定,以保证测试数据的
可靠性。
5.4测试规则
5.4.1测试条件
5.4.1.1温度和湿度:洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相
适应,温度控制在18~26℃,相对湿度控制在45~65%之间为宜。
5.4.1.2压差:空气洁净度不同的洁净室(区)之间的压差应≥5Pa,空
气洁净度级别要求等高的洁净室(区)对相邻的空气洁净度级别低的洁净室(区)
一般要求呈相对正压。
5.4.2测试状态:有静态测试和动态测试。
5.4.2.1静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态,测试人员不得多
于2人。尘埃粒子数必须符合规定。
5.4.2.2动态测试时已处于正常生产状态,所产生粒子不影响最终产品的
作业,可允许超出标准,但当操作完成10分钟后,粒子水平必须恢复到以洁净
区尘粒最大允许数范围之内,应定期监控动态条件下的洁净状况。
5.4.2.
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