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学而不知道，与不学同；知而不能行，与不知同。——黄睎
扫描电子显微镜之SEMEDS样品
制备方法
编辑作者：驰奔COXEM【酷塞目】BeijingOffice(转载请注明出处)
扫描电子显微镜的优势为可以直接观察非常粗糙的样品表面，参
真空环境下观察，因此对样差起伏的材料原始断口。但其劣势为样品必须在
品有一些特殊要求,笼统的讲：干燥,无油,导电.
1、形貌形态，必须耐高真空，例如有些含水量很大的细胞，在真空中很快被抽
干水分，细胞的形态也发生了改变，无法对各类型细胞进行区分；
2、样品表面不能含有有机油脂类污染物。油污在电子束作用下极端容易分解成
碳氢化物，对真空环境造成极大污染。样品表面细节被碳氢化合物遮盖；成像
信号电子束光路引起极大象产量；碳氢化合物吸附在碳氢化合物降低了
探测器晶体表面，降低探测器效率。对低加速电压散；
碳氢化合物被吸附在的电子束干扰严重。
电子枪灯阴极材料的挥发，从而极大降低3、样品必须为干燥。水蒸气会加速
丝寿命；水蒸气会散射电子束，增加电子束能量分散，从而增大色
差，降低分辨能力。
背散射、样品表面必需导电：在大多数情况下，初级电子束电荷数量都大于4
学而不知道，与不学同；知而不能行，与不知同。——黄睎
电子和二次电子数量之和，因此多余的电子必须导入地下，即样品
表面电位必须保持在0电位。如果样品表面不导电，或
者样品接地线断裂，那么样品表面静电荷存在，使得表面负电势不断增加，出现
充电效应，使图像畸变，入射电子平面镜。电子束减速，此时样品如同一个
5、在某些情况下，样品制备变成重要的考虑因素。若要检测观察弱反差机理，
就必须消除强反差机理（例如，形貌反差），否则很难检测到弱的反差。当希型
磁反差或其他弱反差机理时，磁性材II和I背散射电子衍射反差，EBSD望
料的磁畴特性必需消除样品的形貌。采用化学抛光，电解等，产生一个几乎
消除形貌的镜面。
磁性材料,必须退磁.请问为什么？:特殊情况
扫描电镜样品的制备
1、金属和陶瓷样品：
1）、形貌观察
彻底的去除油污以避免碳氢化合物的污染。超声波清洗
机：溶剂为丙酮、乙醇、甲苯等。溶剂不危害样品表面形貌完整性
是非常重要的。
确定样品污染方法：在很高的放大倍数下观察样品，然后降低放大倍数（扫
描电镜为齐焦系统，高倍聚焦清楚，在低的倍数下不离焦），如果有污染，在低
倍会观察到原来高倍的扫描区域有明显黑色痕迹。污染物沉积的速率和电子束照
射区域的剂量有关，由于越高的放大倍数，相同扫描时间内样品单位面积电子束
照射剂量越大。
学而不知道，与不学同；知而不能行，与不知同。——黄睎
绝缘样品需要喷镀导电膜：真空蒸发镀膜技术和离子溅射镀膜
技术。实现导电，导热，很大程度上增加二次电子发
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