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以铜为镜，可以正衣冠；以古为镜，可以知兴替；以人为镜，可以明得失。——《旧唐书·魏征列传》

彩色滤光片外观Mura简介

摘要：彩色滤光片（ColorFilter）是LCD液晶显示器的重要部件之一，其

生产过程中外观Mura管控是品质质量管控的重要环节。本文针对彩色滤光片外

观mura的形貌、产生原因分析及处理对策简单介绍，本文介绍只针对Macro设

备（宏观检查机）内不同光源下肉眼观察外观不良，可以对显示行业或者半导体

行业的外观品质管控提供参考借鉴。

关键词：彩色滤光片；外观MURA

前言：彩色滤光片是LCD颜色产生的重要部件，通过光的三原色（RGB）加

法混合原理显示颜色。三原色叠加能形成1670万种色彩，色彩有三种特性：明

亮、色度、彩度。本文介绍的mura则对明亮度有很大的影响，外观mura指的是

显示器亮度不均、造成各种痕迹的现象。Mura的产生影响CF的品质及客户的满

意度。文章主要介绍四种外观不良：点状、线状、膜面污染及镀膜色差。

一、点状Mura

下面简单介绍五类CF场内常见的点状mura。一、StagePinMURA一般是设

备机台上有异物导致，整面大板位置固定，常见设备是涂布机和曝光机，如果是

连续发生和涂布机Stage关联较大，而曝光机Stage上异物产生点状MURA不良

会呈奇偶分布，背白灯光下可见，绿灯下观察形态似山丘，随着光源移动光晕会

呈现大小变化；设备平台上沾附异物灰尘或者清洁作业时带入或者异常基板流片

是带入等。二、LiftPinMURA常见设备有VCD和HPCP，呈现片间差异性，上白

灯和上钠灯光源下外观检查可见，呈圆点状有规律等间距排布，存在设备单元集

中性，主要原因是光阻未固化前VCD真空和HP预烘烤对玻璃基板造成影响。三、

手指纹mura一般是显影机腔室内显影液滴落导致，分布无规律，macro外观上白、

上钠、绿灯、手持荧光灯均可见发亮不规则状或者类似拇指按压状。四、背污

mura一般是基板在传输过程中与滚轮摩擦产生的不良。常见设备有显影机和清洗

机。绿灯下可见发亮。五、光阻残MURA导致光阻残出现的设备比较多且不规则、

以铜为镜，可以正衣冠；以古为镜，可以知兴替；以人为镜，可以明得失。——《旧唐书·魏征列传》

位置也不固定。外观下绿灯、上白、背白、手持荧光灯均可见残留在基板无效区

的各种颜色。主要是涂布机的粘连和显影机的显影时间导致。

二、线状Mura

线状MURA根据方向分为TDMURA（TD是TransverseDirection缩写，横向

MURA）、MDMURA（MD是MachineDirection缩写，和设备单元（比如涂布机

Gantry）移动方向平行）、风刀Mura和线状刮伤。

①TDMura大多和清洗机有关，主要是毛刷Mura和EUV照射造成的Mura。

毛刷印MURA手持绿光灯下可见，较严重的上反射光源及背光源透射可见呈细条

线型等距分布，此时需要检查确认毛刷压入量是否正常。EUVMura亦是手持绿

光灯下可见，较严重的上反射光源及后光源透射可见大板上呈现贯穿大板的竖条

状，主要原因是设备宕机或堵片时基板在EUV灯下停留过长。

②MDMura分涂布和显影机两种机台造成。（1）涂布MDmura分为贯穿和

非贯穿两种Mura。Macro内上钠灯和手持绿灯容易检出细黑横Mura或有背白等

下有颜色MD不良。主要原因是涂布机nozzle头堵塞或漏液导致涂布不均。（2)

显影mura外观观察绿灯下可见发黑或