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摘要
阻抗测量是电子元件生产、新材料开发和研究等许多方面的重要内容。阻抗测量仪器是关键的电子测量设备之一。伴随着新元件和新材料的高速发展,要求阻抗测量仪能够从低频到射频的频率范围能够实现精确的测量。
本文首先介绍了阻抗测量的基本理论和对现阶段主要的阻抗测量方法,对电桥法、谐振法、电流电压法、电流网络分析法和自动平衡电桥法的优点和缺点进行比较性分析。接着,针对基于自动平衡电桥法在阻抗测量中存在的问题,包括对驻波问题、量程限制和灵敏参数测量予以总结,并对导致自动平衡电桥在射频段难以实现平衡的驻波原因进行了详细的分析和研究,在此基础上给出了通过终端电阻法来消除在射频
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