DB32／T 4894-2024 微机电系统半导体气体传感器性能检测方法.pdfVIP

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DB32/T4894—2024

微机电系统半导体气体传感器性能

检测方法

Testmethodforperformanceofmicro⁃electromechanicalsystems

semiconductorgassensor

2024-11-07发布2024-12-07实施

江苏省市场监督管理局发布

中国标准出版社出版

DB32/T4894—2024

目次

前言……………………………Ⅲ

1范围…………………………1

2规范性引用文件……………1

3术语和定义…………………1

4试验条件……………………1

5检测方法……………………2

6检测报告……………………5

附录A（资料性）测试箱装置介绍与气体配制方法…………6

参考文献…………………………8

Ⅰ

DB32/T4894—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由江苏省纳米技术标准化技术委员会提出、归口并组织实施。

本文件起草单位：苏州市计量测试院、苏州慧闻纳米科技有限公司。

本文件主要起草人：史苏娟、方丹、耿彦红、王瑞、董亮华、徐春、王震、孙旭辉。

Ⅲ

DB32/T4894—2024

微机电系统半导体气体传感器性能

检测方法

1范围

本文件规定了微机电系统半导体气体传感器性能检测的试验条件、检测方法及检测报告。

本文件适用于微机电系统半导体气体传感器的性能检测。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

微机电系统micro⁃electromechanicalsystems；MEMS

基于微纳制造技术制备的功能结构、器件构成的系统。

[来源：GB/T26111—2023，3.1.1]

3.2

半导体气体传感器semiconductorgastransduc