江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司年产30000吨超净高纯电子化学品扩建项目环境影响报告书.docx

江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司

年产30000吨超净高纯电子化学品扩建项目

环境影响报告书

(简本)

建设单位：江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司

评价单位：苏州高新区苏新环境科研技术中心(国环评证乙字第1963号)

编制时间：二O一二年十二月

第1章建设项目概况

1.1建设项目的地点及相关背景

1.1.1建设项目地点

江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司拟建厂区(兴虞路与观潮路交界)位于江苏高科技氟化学工业园内，工业园位于常熟市海虞镇北面的长江岸边滩涂地域，地处长江下游的金三角地带，其地理坐标为东经120°18、北纬31°50。该区北邻长江，南距支(塘)福(山)线约1.5km,距离常熟市市区及虞山国家森林公园约16km,距苏州市56km,距上海市100km,

东距常熟港15km,西北距张家港35km,北面与南通港隔江相望。

1.1.2项目建设相关背景

江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司成立于2004年，是一家专业生产超高纯微电子化学品的中美合资企业。现厂址位于江苏省高科技氟化学工业园海平路与富虞路交界，租用常熟华益化工有限公司厂房进行生产，现有生产规模为年产高纯度异丙醇3000吨、氨水2500吨，产品性能及各项指标均达到世界先进水平。这些产品可广泛应用于半导体集成电路、TFT-LCD、硅片生产企业、光学加工及精密微电子产品制造工艺。

目前，由于超净高纯电子化学品产品在不断地扩大应用范围，本项目产品的需求量在不断增长，项目产品市场前景非常广阔，随着企业的业务范围不断扩大，业务量迅速增长，公司现有规模设施及场地的限制已极大地阻碍了企业的发展壮大，因此，公司研究决定，现有项目保留于现有厂区进行生产，不发生变动，另拟增资异地建设年产30000吨超净高纯电子化学品(其中超纯硫酸10000吨、超纯盐酸3000吨、超纯氢氟酸3000吨、超纯硝酸3000吨、超纯双氧水2000吨、超纯氨水4000吨、超纯异丙醇

2000吨、超纯乙醇1500吨、超纯甲醇1500吨)生产装置，使企业成为规

模型企业，以保证产品在市场的占有率和竞争力，为企业蓬勃发展打下良

好的基础。此次异地扩建厂址位于江苏省高科技氟化学工业园兴虞路与观潮路交界。

1.2工程概况

1.2.1建设内容

本项目产品为年产超纯电子化学品30000吨，包括超纯硫酸10000吨、超纯盐酸3000吨、超纯氢氟酸3000吨、超纯硝酸3000吨、超纯双氧水2000吨、超纯氨水4000吨、超纯异丙醇2000吨、超纯乙醇1500吨、超纯甲醇1500吨。拟建项目产品方案表1.2-1。

表1.2-1拟建项目产品方案

主体工程名

称(车间、生

产装置或生产

线)

产品名称及规格

设计能力(t/a)

年运

行

时数

现有厂区

拟建厂区

扩建后全厂

扩建前

扩建后

增量

扩建前

扩建后

增量

总量

电子化学品提纯生产线

超纯氨水(28-30%)

2500

2500

0

0

4000

4000

6500

7200h

超纯异丙醇(≥99.7%)

3000

3000

0

0

2000

2000

5000

超纯甲醇(≥99.7%)

0

0

0

0

1500

1500

1500

超纯乙醇(≥99.7%)

0

0

0

0

1500

1500

1500

超纯双氧水

(27-50%)

0

0

0

0

2000

2000

2000

超纯硫酸(90-98%)

0

0

0

0

10000

10000

10000

超纯盐酸(30-38%)

0

0

0

0

3000

3000

3000

超纯氢氟酸(28-75%)

0

0

0

0

3000

3000

3000

超纯硝酸(40-70%)

0

0

0

0

3000

3000

3000

氨水

(副产品)

79

39

-40

0

86.396

86.396

125.396

醇类

(副产品)

66

66

0

0

123.03

123.03

189.03

双氧水(副产品)

0

0

0

0

38

38

97.396

酸类

(副产品)

0

0

0

0

334

334

313.03

1.2.2生产工艺

超纯氨水生产

工业液氨(99.7%)

1182氨：1178.68493

固体颗粒：2.70404金属离子：0.00502有机物：0.00601

水分：0.6

3.895蒸发

3.895

(蒸发器)

气氨1178.105

氨：1177.29293

固体颗粒：0.30404金属离子：0.00202有机物：0.00601

水分：0.5

2.5气氮分离

2.5

(气氮分离器)

气氨1175.605

氨：1175.59293

固体颗粒：0.00404金属离子：0.00202有机物：0.