球墨铸铁铸件生产技术 设备操作规程-扫描电子显微镜 .pdfVIP

EVO18扫描电子显微镜操作规程

一、开机

在电镜基座的前面板上有绿(ON)\黄(STANDBY)\红(OFF)三个按钮。

1、接通电源后，按红色按钮，电镜通电。

2、按黄钮，真空系统工作，整机处于待机状态。

3、约30秒后按绿色按钮，所有系统开始工作。

4、注册进入计算机系统，双击SmartSEM并登录。

二、打开扫描电镜控制窗口

键盘点击Ctrl+G，打开SEMControl窗口，设置扫描参数。

三、放置样品

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样品室通入氮气打开舱门，放入样品，抽真空。等待真空度8x10mba，

真空状态许可出现（VacStatus=Ready）。

四、打开电子枪

选择加速电压（EHT）并打开电子枪，荧光屏上出现图像。可将亮度固定在

50％，调节衬度（Constrast）使图像亮暗合适。在低倍率下聚焦图像。

五、检查灯丝饱和与电子枪合轴

选择样品感兴趣部位，将图像放大到5000x以上调焦，如果需要，进行物镜

光阑合轴，并消像散。调整图像亮度和衬度。

六、记录图像

1、选择较慢扫描速度，例如：Speed＝8。图像扫完一帧后将冻结（Freeze）

在存储器中，以数字文档形式转存或打印。

2、图像最终扫描时可以选用不同的降噪方式，提高图像信躁比。在冻结图

像上可以输入文本或对特征物测量。

七、关机

1、关电子枪（Shutdown），样品室放气取出样品，再抽真空。

2、按提示关闭所有窗口与计算机，按黄钮，稍候再关红钮。