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团体标准
T/CAMSXXXXX—XXXX
玻璃基底微热板激光加工规范
SpecificationsforPreparingGlass-BasedMicro-Hotplates
byLaserPrecessing
（征求意见稿）
在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
中国机械工业标准化技术协会发布
T/CAMSXXXXX—XXXX
目次
1.范围………………………...……1
2.规范性引用文件……………...…1
3.术语和定义……………………...1
3.1激光烧蚀…………………1
3.2Lift-off工艺………………2
3.3等离子增强化学气相沉积(PECVD)…………………...2
3.4反应离子刻蚀(RIE).…………………….2
3.4加热电极………………………...………2
3.5绝缘层…………………………...………2
3.6玻璃基底……………...…2
3.7背腔…………………...…2
4.要求………………………….…2
4.1人员………………………...……………2
4.2环境…………………...…2
4.2.1百级洁净间…………………..…..3
4.2.2千级洁净间……………………3
4.3材料…………………………...…………3
4.3.1基底材料选择……………………3
4.3.2加热电极材料选择………………3
4.3.3绝缘层材料选择…………………3
4.4设备…………….……..…3
4.4.1激光加工设备……………………3
4.4.2光刻机……………4
4.4.3磁控溅射设备……………………4
4.4.4PECVD设备…………...…………4
4.5工艺参数选择………………
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