扫描电子显微镜(SEM)-介绍-原理-结构-应用.pptxVIP

扫描电子显微镜(SEM)

;;;;;扫描线圈;;;;;;;;;;;;;;;;;;放大倍率是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。SEM有较高的放大倍数，7-30万倍之间连续可调；

放大倍率不是越大越好，要根据有效放大倍率和分析样品的需要进行选择。如果放大倍率为M，人眼分辨率为0.2mm，仪器分辨率为5nm，则有效放大率M＝0.2×106nm÷5nm=40000（倍）。如果选择高于40000倍的放大倍率，不会增加图像细节，只是虚放，一般无实际意义。放大倍率是由分辨率制约，不能盲目看仪器放大倍率指标。

;在高能入射电子作用下，试样表面激发产生各种物理信号，激发的信号产生于不同深度，用来调制荧光屏亮度的信号不同，则分辨率就不同。

俄歇电子和二次电子因其本身能量较低以及平均自由程很短，只能在样品的浅层表面内逸出。入射电子束进入浅层表面时，尚未向横向扩展开来，可以认为在样品上方检测到的俄歇电子和二次电子主要来自直径与扫描束斑相当的圆柱体内。这两种电子的分辨率就相当于束斑的直径，5-10nm。

入射电子进入样品较深部位时，已经有了相当宽度的横向扩展，从这个范围中激发出来的背散射电子能量较高，它们可以从样品的较深部位处弹射出表面，横向扩展后的作用体积大小就是背散射电子的成像单元，所以，背散射电子像分辨率要比二次电子像低，一般为50-200nm。

扫描电镜的分辨率用二次电子像的分辨率表示。由于超高真空技术的发展，二次电子像分辨本领可达1.0nm(场发射),3.0nm(钨灯丝)；;各种信号成像的分辨率

二次电子：5-10nm

背散射电子：50-200nm

俄歇电子：5-10nm

吸收电子：100-1000nm

特征X射线：100-1000nm;景深是指透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范围。

电子束入射半角是控制景深的主要因素，它取决于末级透镜的光阑直径和工作距离。扫描电子显微镜电子束入射角很小（约10-3rad），所以扫描电镜以景深大而著名，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；它比一般光学显微镜景深大100-500倍，比透射电子显微镜的景深大10倍。;;扫描电子显微镜可与X射线能谱仪/波谱仪联用，测量入射电子与试样相互作用产生的特征X射线波长与强度，从而对试样中元素进行定性、定量分析。;定性分析的基础是Moseley（莫斯莱）关系式:;;一般来说，对于试样中的主要元素（例如含量＞10％）的鉴别是容易做到正确可靠的；但对于试样中次要元素（例如含量在0.5-10％）或微量元素（例如含量＜0.5％）的鉴别则必须注意谱图的干扰、失真、谱线的多重性等问题，否则会产生错误。;;;;;;;;;Thanks!