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分步重复光刻机项目效益评估报告.docx

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    分步重复光刻机项目效益评估报告

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    分步重复光刻机项目效益评估报告

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    TOC\h\z20459前言 3

    9443一、选址分析 3

    27940(一)、分步重复光刻机项目选址原则 3

    32342(二)、建设区基本情况 3

    3729(三)、创新驱动发展 4

    19803(四)、产业发展方向 5

    20926(五)、分步重复光刻机项目选址综合评价 7

    5311二、分步重复光刻机项目规划进度 7

    25582(一)、分步重复光刻机项目进度安排 7

    21438(二)、分步重复光刻机项目实施保障措施 8

    14949(三)、质量与

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