超大规模集成电路技术与芯片制造 .pdfVIP

超大规模集成电路技术与芯片制造

计算机的发展离不开超大规模集成电路技术的进步，而超大规

模集成电路技术即“VLSI”技术，是现代电子制造技术的代表。

VLSI技术的产生，是为了实现更大规模、更复杂的集成电路，也

为不断降低成本、提高电路性能、促进信息技术的进展服务。

芯片是VLSI技术的重要产品。芯片制造过程主要分为晶圆制

造和后道加工两个部分。其中晶圆制造是芯片制造的核心环节，

被称为“芯片制造的制造”。晶圆浪费成本很高，因此经济高效的

晶圆制造至关重要。晶圆制造的过程中需要进行掩膜与光刻、离

子注入、蚀刻等一系列复杂的操作，需要高度精密的仪器设备与

技术专业人士进行操作。

超大规模集成电路技术于20世纪60年代出现，目前已经发展

到10纳米级别。创新不断，芯片处理速度不断提升，数量级越来

越大。现今如手机芯片，芯片规模相对前几年变得更加巨大，重

要的结构和元器件数量也越来越多。若不使用VLSI技术，现代电

脑和手机无法实现这样的规模和复杂度，VLSI技术为现代电子行

业提供了新的突破。

如今，中国正成为全球最大的晶圆制造国家之一，国内芯片制

造水平正迎来快速发展，并在未来扮演越来越重要的角色。中国

在晶圆制造设备的研制、产业化过程中取得了显著进展，先后研

制出了各种专业设备，实现了由依赖进口设备向自主研发的转变。

总之，超大规模集成电路技术与芯片制造是现代电子制造的基

础，其关系着整个电子产业的发展水平。VLSI技术的不断发展，

将促进电子信息行业在性能、功耗和大小等方面不断创新，提升

产业价值，创造更好的社会价值。