《真空系统》课件.pptVIP

*******************真空系统概述真空系统在各种科学、工业和技术应用中发挥着重要作用。真空系统是指用于创造和维持真空环境的设备和技术组合。什么是真空系统低压环境真空系统是指用来创造和维持低压环境的设备和技术，通常比大气压低很多。真空系统可以创建各种不同的压力，从低真空到超高真空。气体稀薄真空系统的主要特点是内部气体分子密度极低，这意味着气体分子之间的碰撞次数很少。广泛应用真空系统在科学研究、工业生产、医疗保健等领域都有着广泛的应用。例如，真空技术可以用于制造半导体芯片、生产食品、进行医疗诊断等。真空系统的应用领域真空系统在现代科学技术中应用广泛，例如：电子工业：真空镀膜、真空封装材料科学：真空冶炼、真空热处理物理学：高能物理实验、粒子加速器医药卫生：真空灭菌、真空包装航空航天：火箭发动机、卫星制造真空系统的基本组成1真空泵真空泵是真空系统的核心部件，用于抽除容器内的气体，降低气体压力。2真空室真空室是需要进行真空处理的容器，可以是各种形状和大小的密封容器。3真空管道真空管道用于连接真空泵、真空室和其他组件，并保证真空环境的完整性。4真空阀门真空阀门用于控制真空系统的进气、排气和隔离，确保真空系统正常运行。真空泵的分类及原理1机械泵旋转叶片或活塞压缩气体，降低真空度。2分子泵高速旋转的转子，将气体分子带走。3扩散泵利用高能蒸汽流撞击气体分子，使其离开真空室。4离子泵利用电子轰击气体分子，使它们变成离子，然后被电场吸走。5吸附泵利用吸附剂，将气体分子吸附到材料表面。不同类型的真空泵，适用于不同的真空度范围。真空泵的原理决定其性能和适用范围。机械真空泵工作原理机械真空泵通过旋转叶片或活塞，将泵腔内的气体压缩并排放到大气中，从而降低泵腔内的压力，形成真空。类型旋片泵活塞泵滑阀泵罗茨泵优点结构简单，价格低廉，易于维护，适用于各种应用场景。缺点真空度有限，对气体流量要求不高，无法用于高真空应用。分子泵旋转分子泵通过高速旋转的叶片产生高速气流，将气体分子带到排气口，实现抽真空的效果。吸附分子泵利用特殊材料的吸附特性，将气体分子吸附到泵腔表面，实现抽真空的效果。应用场景常用于需要高真空度的场合，例如科研、半导体制造等领域。离子泵工作原理离子泵利用电场和磁场将气体分子电离，形成离子，然后利用电场加速离子轰击阴极，使气体分子被吸附或反应，从而降低真空度。优点离子泵具有无油污染、无机械运动、噪音低、寿命长、真空度高等优点。应用领域广泛应用于科学研究、半导体制造、电子工业、航空航天等领域。吸附泵吸附泵工作原理吸附泵利用低温冷冻物质吸附气体分子。气体分子被吸附到泵的冷凝器表面，从而降低气体压力。低温冷冻物质通常为活性炭或分子筛。吸附泵的种类吸附泵可分为静态吸附泵和动态吸附泵。静态吸附泵利用吸附剂材料固定的吸附能力来吸附气体分子。动态吸附泵通过吸附和脱附过程循环来实现气体抽取。吸附泵的应用吸附泵主要用于真空系统中的低真空和超高真空阶段，尤其适用于抽取氢气、氦气等轻气体。此外，吸附泵还可用于制备高纯度气体。吸附泵的优点吸附泵具有结构简单、使用方便、噪音低、无油污染等优点，是真空系统中常用的真空泵之一。真空表的分类及选择真空表分类根据测量原理的不同，真空表可以分为多种类型，例如热偶真空计、电离真空计、压阻真空计等，不同的类型在测量范围和精度方面各有优劣，需要根据实际应用情况选择合适的真空表。选择注意事项选择真空表时应考虑真空系统的类型、压力范围、精度要求、响应速度、耐受温度、成本等因素，并根据实际情况进行综合评估。真空计量单位单位符号定义帕斯卡Pa1帕斯卡等于1牛顿作用在1平方米面积上的压力。托Torr1托等于1毫米汞柱压强。巴Bar1巴等于100,000帕斯卡。真空度的概念1真空度定义真空度是指真空容器内气体稀薄程度的量度。它指的是真空容器内的气体压力低于大气压力的程度。2真空度与气压关系真空度越高，气体压力越低。真空度通常以帕斯卡(Pa)或托(Torr)为单位。3不同真空度等级真空度可分为粗真空、中真空、高真空、超高真空等不同的等级，不同真空度等级对应不同的应用领域。4真空度重要性真空度是影响真空系统性能的关键因素之一，它决定了真空系统的效率、可靠性和安全性。真空上升及下降过程1抽真空从大气压到真空度2真空保持稳定真空度3泄漏真空度下降4充气恢复大气压真空系统在抽真空过程中，气体从系统中被抽走，真空度逐渐升高。真空保持阶