T_ZJCX 0049—2024 碳化硅衬底激光剥离设备.pdf

ICS31.550

CCSL95

团体标准

T/ZJCX0049—2024

碳化硅衬底激光剥离设备

LaserslicingequipmentforSiCsubstrate

2024–12-24发布2024–12-25实施

浙江省企业技术创新协会发布

T/ZJCX0049—2024

目次

前 言I

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4工作条件2

5技术要求2

6试验方法5

7检验规则6

8标志、包装、运输和贮存7

T/ZJCX0049—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由浙江省企业技术创新协会提出并归口。

本文件主要起草单位：西湖仪器（杭州）技术有限公司。

本文件参与起草单位：西湖大学、西湖大学光电研究院、北京天科合达半导体股份有限公司、山西

烁科晶体有限公司、浙江材孜科技有限公司、河北同光半导体股份有限公司。

本文件主要起草人：仇旻、刘东立、俞小英、朱佳凯、刘峰江、陈文轩、刘春俊、魏汝省、王明华、

崔景光。

I

T/ZJCX0049—2024

碳化硅衬底激光剥离设备

1范围

本文件规定了碳化硅衬底激光剥离设备的术语和定义、工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、

标志、标签、包装、运输和贮存。

本文件适用于碳化硅衬底激光剥离设备的生产和检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款，其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB2894安全标志及其使用导则

GB/T4208外壳防护等级（IP代码）

GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件

GB/T6388运输包装收发货标志

GB/T7247.1激光产品的安全第1部分：设备分类、要求

GB/T7932气动对系统及其元件的一般规则和安全要求

GB/T10320激光设备和设施的电气安全

GB/T13306标牌

GB/T13384机电产品包装通用技术条件

GB/T18490.1机械安全激光加工机第1部分：通用安全要求

GB/T24342工业机械电气设备保护接地电路连续性试验规范

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

激光剥离laserslicing

1

T/ZJCX0049—2024

将光子能量低于材