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大直径硅单晶及抛光片项目效益评估报告.docx

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    大直径硅单晶及抛光片项目效益评估报告

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    大直径硅单晶及抛光片项目效益评估报告

    目录

    TOC\h\z31701前言 3

    32459一、工艺技术分析 3

    24843(一)、企业技术研发分析 3

    3600(二)、大直径硅单晶及抛光片项目技术工艺简要分析 4

    3105(三)、质量管理体系与标准 5

    16703(四)、大直径硅单晶及抛光片项目技术流程简述 6

    6116(五)、设备选型方案 8

    26150二、环保分析 9

    10298(一)、建设期环境影响 9

    12579(二)、营运期环境评价 11

    26605(三)、环境管

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