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分步重复光刻机项目安全风险评价报告.docx

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    分步重复光刻机项目安全风险评价报告

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    分步重复光刻机项目安全风险评价报告

    目录

    TOC\o1-9概论 4

    一、环境评价 4

    (一)、环境评价概述 4

    (二)、评价分步重复光刻机项目概况 4

    (三)、环评单位的基本情况 6

    (四)、评价范围及目的 7

    (五)、评价依据 9

    (六)、国家环保法律法规 9

    (七)、地方环保规定 9

    (八)、相关标准和技术规范 9

    (九)、评价程序与方法 10

    (十)、环境评价程序 10

    (十一)、评价方法与技术路线 12

    二、危险、有害因素的辨识与分析 13

    (一)、辨识与分析危险、有害因素的依据

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