激光器和激光相关设备 角分辨散射的试验方法 编制说明.docx

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激光器和激光相关设备角分辨散射的测试方法编制说明

1工作概况

1.1任务来源

根据国标委《国家标准化管理委员会关于下达2024年第六批推荐性国家标准制计划及相关标准外文版计划通知》（国标委发[2024]35号），由中国兵器工业标准化研究所及相关单位完成《激光器和激光相关设备角分辨散射的测试方法》的编制工作，制定计划号为T-604。

1.2编制单位

本标准编制单位为中国兵器工业标准化研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、深圳市计量质量检测研究院、北京万集科技股份有限公司。

本部分起草单位及承担工作见表1。

表1编制单位及承担工作

编制单位

承担任务

中国兵器工业标准化研究所

主要起草，承担标准的主要起草任务；组织协调标准编制工作

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

协助起草，从技术角度对标准草案进行校核、完善

深圳市计量质量检测研究院

协助起草，从标准化角度对标准草案进行校核、完善

北京万集科技股份有限公司

协助起草，从技术验证角度对标准草案进行校核、完善

1.3主要工作过程

2024年7月，由中国兵器工业标准化研究所组织牵头，成立了《激光器和激光相关设备角分辨散射的试验方法》编制组。

2024年8月，标准编制组在中国兵器工业标准化研究所召开了第一次工作会议，分析并搭建了标准总体技术框架和标准大纲；

2024年9月，主要编制人员对国际标准ISO19986:2020《激光器和激光相关设备角分辨散射的试验方法》进行了认真研究，针对性地查阅了相关国内标准，调研了与标准内容相关的国内技术状况。在充分理解标准所描述的测试方法

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原理的基础上，对标准进行了转化，形成了标准讨论稿；

2024年10月，主要编制人员依据ISO19986:2020《激光器和激光相关设备角分辨散射的试验方法》对标准讨论稿进行了进一步修改，采用专家调研法、系统分析法等研究方法，组织编制组成员研讨，梳理测试原理、测试方法、测试步骤、测试报告等技术内容，对讨论稿进行了补充完善，形成了征求意见稿初稿。

2024年11月，由中国兵器工业标准化研究所组织召开了项目讨论会，会上与会专家对标准征求意见稿初稿进一步提出了修改建议和意见，对本标准编写的规范性、词语翻译的准确性进行了充分探讨。提出将标准名称中的“testmethod”由“试验方法”修改翻译为“测试方法”，与会专家一致同意将标准名字由《激光器和激光相关设备角分辨散射的试验方法》修改为《激光器和激光相关设备角分辨散射的测试方法》。本标准经完善后，形成了正式的征求意见稿。

2.编制原则和主要内容

2.1编制依据

本标准等同采用国际标准ISO19986:2020《激光器和激光相关设备角分辨散射的测试方法》；采用国际标准按GB/T20000.2－2009《标准化工作指南第2部分：采用国际标准》的规定；编写规则按GB/T1.1－2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定。

2.2编制原则

统一性——标准各部分的文体和术语应保持一致，相同条款应使用相同措辞表述。

协调性——标准各部分的内容应相辅相成，自成体系。适用性——标准的内容应便于实施，具有可操作性。

一致性——本标准为国际标准的同步制定，起草时应尽可能与国际标准保持一致。

规范性——本标准的编写规则应遵循GB/T1.1－2020和GB/T20000.2-2009的规定。

2.3主要技术内容

2.3.1概述

随着光学技术的飞速发展及其应用领域的不断扩大，光学元件表面缺陷及其引起的光散射越来越受到人们的普遍关注。光学元件缺陷引起的辐射散射严重影

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响光学系统的性能。散射成大角度的辐射通常意味着辐射功率的损失，从而降低了吸收量。散射到小角度的辐射会导致图像退化，因此了解散射辐射的角度分布是评估光学元件质量的必要条件。

角分辨散射(ARS)，是由测量的散射强度(散射辐射功率归一化为入射辐射功率和实心探测角)作为散射角的函数来定义，可正确测量光散射的空间分布，并通过其全空间积分，得到表面的总积分散射值。角分辨散射数据可作为光学设计软件中杂散辐射计算的输入。目前国外在这一领域的研究重点已从实验室的一般原理方法研究发展到工业应用的研究，大量的工作已经集中在表面的大面积自动快速检测及半导体工业中亚微米超大规模集成电路基片微缺陷的研究。

国际标准化组织（ISO）在角度分辨散射(ARS)的测量方法方面，出版颁布了ISO19986:2020《激光器和激光相关设备角分辨散射的测试方法》，该标准描述了光