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《多测头组合式激光光栅干涉六自由度位姿测量方法研究》
一、引言
随着科技的发展和制造业对精度的日益要求，位姿测量技术在机械加工、装配以及检测等领域的地位越来越重要。六自由度位姿测量技术作为其中的关键技术之一，对于提高产品的精度和效率具有重要作用。本文将重点研究多测头组合式激光光栅干涉六自由度位姿测量方法，旨在为相关领域提供一种新的、高效的测量手段。
二、激光光栅干涉原理
激光光栅干涉技术是一种高精度的测量方法，其基本原理是通过激光束在光栅上的投射，形成多束干涉光束，通过测量这些光束的相位差和强度变化，从而得到物体的位置和形状信息。激光光栅干涉技术具有高精度、高效率、非接触等优点，被广泛应用于各
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