真空基本原理基本概念.pptx

真空基本原理;安捷伦科技公司致力于为教育事业贡献力量，愿意无偿提供公司拥有的本技术培训材料。

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如果其中的图片、示意图或绘图要用于其他任何目的，请与安捷伦科技公司取得联系。;目录;真空发展历史;“真空”一词源于拉丁语形容词“vacuus”，这个形容词是指“空虚的”或“空洞的”，表示不存在物质，这种状态指物质密度低于地球表面大气压力的气体状态。

许多技术过程和仪器都需要真空，例如：

长距离移动粒子

高能物理（粒子加速器）

质谱和电子显微镜

形成并保持表面洁净

表面涂层（玻璃、膜、半导体）

食品包装

防止电击穿

变压器

真空管

;真空范围定义;撞击固定表面的粒子的动量转移产生作用于壁的力。所得压力的计算公式为：

表压是相对于环境压力的压力。

;压力取决于：

体系中的分子数量

分子动量（热能）

腔室面积（体积）

在大气中，气球的形状（或体积）代表了内部分子（试图膨胀气球）的力与试图“压扁”气球的外部分子力之间的平衡。去除（最好减小）外力能够使“内部”分子将气球撑开到更大的体积。

;?;;海拔;与固体不同，液体或气体填充到容器或空间时，原有形状不会保持。

液体将在相对较小力的作用下从一个位置“流动”至另一位置。

虽然液体受到“体积力”（重力和离心力）的限制，但是气体受这些力的影响相对较小。

;真空中的气体流动具有三种既定的机制。当气体从高压区域扩散到低压区域时，

可以用流体力学中的术语来描述这种运动。

气体行为将根据压力而有所不同。

;粘性流(100mTorr)和分子流(1mTorr)之间的区域被称作过渡流（也称作克努森流）。此时的气体流动行为难以???测。

实际上，流动特性是基于压力和容器尺寸之间的关系。

仅基于压力来表征流动在技术上不可行。

;流导(C)是气体穿过材料的能力。

它是单位时间通过凹口（如孔口、管道或管线）的气体体积(Q)。

术语“流导”主要用于被动系统组件。它是气体流动阻力的倒数。

流导用单位时间的体积来表示(L/s)。;管中粘性流的流导计算公式为：

流导取决于管径的四次方，并与管长(L)成反比。

粘性流中的孔口流导计算方法极其复杂。

因此，在实践中很少使用。

;?;流导严重影响泵速;

;水蒸气会“污染”表面

在10-6Torr下，几秒内即可形成单层水（在10-11Torr下则需要数小时）

水可能“无限”与自身结合

;总结;非常感谢