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2023年金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目可行性评估方案.docx

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    金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目可行性评估方案

    PAGE1

    金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目可行性评估方案

    目录

    TOC\h\z29640前言 3

    27668一、工艺方案的选择 3

    4636(一)、基本要求 3

    26414(二)、典型工艺技术介绍 4

    30374(三)、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目组成 6

    12197(四)、工艺技术方案的选择 7

    21542(五)、工艺技术方案的设计 9

    10007二、投资估算与资金筹措 10

    8218(一)、投资估算依据及范围 10

    1533(二)、固定资产投资总额 12

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