洁净室洁净度的测试方法.pdfVIP

以铜为镜，可以正衣冠；以古为镜，可以知兴替；以人为镜，可以明得失。——《旧唐书·魏征列传》

洁净室洁净度测定工艺

1范围

本工艺规定了（5～9级）洁净室中悬浮粒子的测试方法和就悬浮粒

子而言的空气洁净度的评价。

本工艺适用于洁净室中悬浮粒子洁净度的监测和洁净度等级的验

证。

本工艺不包括洁净度1～4级洁净系统的测试。

2规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款，其必威体育精装版

版本适用于本标准。

JGJ71洁净室施工及验收规范

GB50073洁净厂房设计规范

GB50243通风与空调工程施工质量验收规范

3术语

3.1洁净室cleanroom

对尘粒及微生物污染规定需进行环境控制的房间或区域。其建筑结

构、装备及其使用均具有减少对该区域内污染源的介入、产生和滞留的

功能。

3.2粒子particle

一般尺寸为0.001~1000μm的固态和液态物质。

3.3洁净度cleanliness

以铜为镜，可以正衣冠；以古为镜，可以知兴替；以人为镜，可以明得失。——《旧唐书·魏征列传》

洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某一粒径的悬浮粒子的允

许统计数。

3.4单向流unidirectionalairflow（曾称为层流laminarflow）

沿着平行流线，以一定流速向单一方向流动的气流。

3.5非单向流non-unidirectionalairflow（曾称为乱流）

具有多个通路循环特性或气流方向不平行的，不满足单向流定义的

气流。

3.6t分布tdistribution

正态总体中的一种抽样分布，其分布函数为

总体平均值－样本平均值

t=————————————…………（1）

标准误差

3.7置信度上限（UCL）upperconfidencelimit

从正态分布抽样得到的实际均值按给定的置信度（此处为95%）计

算得到的估计上限将大于此实际均值，则称计算得到的这一均值估计上

限为置信度上限。

3.8静态测试at-resttest

洁净室净化空气调节系统已处正常运行状态，工艺设备已安装，洁

净室内没有生产人员的情况进行的测试。工程施工质量竣工验收的测试

为静态测试。

3.9动态测试operationaltest

洁净室已处正常生产状态下进行的测试。

以铜为镜，可以正衣冠；以古为镜，可以知兴替；以人为镜，可以明得失。——《旧唐书·魏征列传》

4工艺过程方框图

人员准备

熟悉图纸

熟悉现场

仪表准备

系统正常运行确认

运行时间确认高效过滤器检漏测试

洁净度测试

数据整理