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2023年光刻胶配套试剂项目可行性评估方案.docx

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    光刻胶配套试剂项目可行性评估方案

    PAGE1

    光刻胶配套试剂项目可行性评估方案

    目录

    TOC\h\z2045前言 3

    10190一、光刻胶配套试剂项目建设内容 3

    22045(一)、建筑工程 3

    5342(二)、电气、自动控制系统 5

    25275(三)、通用及专用设备选择 6

    25908(四)、公共工程 8

    14920二、光刻胶配套试剂项目建设单位基本情况 9

    898(一)、光刻胶配套试剂项目建设单位基本情况 9

    29863(二)、光刻胶配套试剂项目主管单位基本情况 11

    2091(三)、光刻胶配套试剂项目技术协作单位基本情况

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