qcm传感器不对称电极的优化设计与仿真.docx

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摘要

本文首先介绍了QCM传感器的课题背景，阐述了现阶段对QCM传感器的研究现状，通过对QCM传感器的分析与研究，介绍本文的主要研究工作。

然后介绍了压电效应以及高频振动的基本原理，再通过介绍不对称电极的结构与性质，利用ANSYS对QCM传感器进行研究分析，分析不同电极尺寸对圆形QCM性能的影响。

最后，通过仿真数据分析，当上电极半径接近下电极半径的一半时，不对称电极QCM的质量灵敏度处于最大值，所受耦合干扰最小。

关键词：QCM传感器压电效应电极尺寸ANSYS

绪论

1.1QCM发展及现状

QCM全称新型的石英谐振气体传感器(QuartzC