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- 2025-01-02 发布于四川
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- | 2024-09-29 颁布
- | 2025-01-01 实施
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ICS31.080.99
CCSL59
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT445132024IEC62047-372020
微机电系统()技术传感器用
MEMS
MEMS压电薄膜的环境试验方法
()—
Micro-electromechanicalsstemsMEMStechnoloEnvironmentaltest
ygy
methodsofMEMSiezoelectricthinfilmsforsensoralication
ppp
(:,——
IEC62047-372020SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices
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Part37EnvironmentaltestmethodsofMEMSiezoelectricthinfilmsforsensor
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pp
2024-09-29发布2025-01-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—/:
GBT445132024IEC62047-372020
目次
前言…………………………Ⅲ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4试验流程…………………1
4.1总则…………………1
4.2初始测量……………2
4.3试验…………………2
4.4后处理………………2
4.5最终测量……………3
5环境和介质耐电压试验…………………3
5.1环境试验…………
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