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士不可以不弘毅，任重而道远。仁以为己任，不亦重乎?死而后已，不亦远乎?——《论语》

毕业设计（论文）-多晶硅工艺生产技术

多晶硅工艺生产技术

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日期:2012年12月11日

多晶硅工艺生产技术

目录

目

录

I

摘

要

II

士不可以不弘毅，任重而道远。仁以为己任，不亦重乎?死而后已，不亦远乎?——《论语》

第一章多晶硅的认识和产品的用

途

1

一、什么是多晶

硅

1

二、什么是半导

体

1

三、纯度表示

法

1

四、多晶硅产品的用

途

2第二章多晶硅的生产方

法

2

一、锌还原法(杜邦

法)

2

二、四氯化硅氢还原法(贝尔

法)

3

士不可以不弘毅，任重而道远。仁以为己任，不亦重乎?死而后已，不亦远乎?——《论语》

三、三氯氢硅热分解法(倍西内

法)

3

四、三氯氢硅氢还原法(西门子

法)

3

五、硅烷热分解

法

3

六、改良西门子

法

3

第三章改良西门子法工

艺

4

一、发展历

程

4

二、改良西门子法归纳起来有三大特

点

4

三、工艺生产化学反应方程

式

4第四章多晶硅生产的工艺过

士不可以不弘毅，任重而道远。仁以为己任，不亦重乎?死而后已，不亦远乎?——《论语》

程

5

一、合成部

分

5

1、液氯汽

化

5

2、HCL合

成

6

3、三氯氢硅合

成

8

二、提纯部

分

11

三、氢化还原部

分

15

1、还原工

序

15

士不可以不弘毅，任重而道远。仁以为己任，不亦重乎?死而后已，不亦远乎?——《论语》

2、四氯化硅氢

化

18

四、回收部

分

21

五、公用辅助部

分

27第五章多晶硅工

艺的主要控

制

27

一、还原炉的自动和联锁控

制

27

二、尾气回收吸附塔的顺序控

制

32第六章结束

语

48

I