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- | 2024-10-26 颁布
- | 2025-05-01 实施
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ICS31.200
CCSL55
中华人民共和国国家标准
/—
GBT447962024
集成电路三维封装带凸点圆片划片工艺
过程和评价要求
—
Interatedcircuit3DackainReuirementforbumin-wafer-sawin
gpggqpgg
processandevaluation
2024-10-26发布2025-05-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT447962024
目次
前言…………………………Ⅲ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4一般要求…………………1
、………………
4.1设备仪器和工装夹具1
4.2材料…………………2
4.3一般注意事项………………………2
5详细要求…………………3
5.1环境…………………3
5.2典型工艺流程………………………3
5.3工艺准备……………4
5.4贴膜…………………4
5.5揭保护膜……………5
()………………………
5.6烘片必要时5
()…………………
5.7激光预切必要时5
5.8划片……………………
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