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- | 2024-09-29 颁布
- | 2025-04-01 实施
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ICS31.080.99
CCSL59
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT445172024IEC62047-162015
微机电系统()技术膜残
MEMSMEMS
余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法
()—
Micro-electromechanicalsstemsMEMStechnoloWafercurvatureand
ygy
cantileverbeamdeflectiontestmethodsfordetermininresidual
g
stressesofMEMSfilms
(:,——
IEC62047-162015SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices
:—
Part16TestmethodsfordetermininresidualstressesofMEMSfilms
g
,)
WafercurvatureandcantileverbeamdeflectionmethodsIDT
2024-09-29发布2025-04-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—/:
GBT445172024IEC62047-162015
目次
前言…………………………Ⅲ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4试验方法…………………1
4.1概述…………………1
4.2晶圆曲率法…………………………2
4.3悬臂梁挠度法………………………3
参考文献……………
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