SEM-操作使用手册.pdfVIP

好学近乎知，力行近乎仁，知耻近乎勇。——《中庸》

ZeissSupra55(VP)扫描电子显微镜

简明操作指南

一、开机说明

冷启动步骤

1、启动UPS

打开墙上空气开关，确认UPS后面电池开关打开，按前面面板上On键至两个绿灯亮。

2、启动循环水冷机。

按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。

检查出水口压力在2～3bar。出水口压力可由压力表下方阀门调节。

若有报警，检查水位，按Res键。

3、启动空气压缩机。

确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。检查输出气压为5～6bar。

4、确认主机后两个电源开关状态为On。

此时，主机前面板上红灯亮。

5、按下黄键。

说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。

6、按下绿键。

按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：

7、启动SmartSEM软件。

用户名：system密码：

8、检查真空值，等待真空就绪。

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注意：当SystemVacuum2×10mBar时，会自动打开CIV阀门(columnisolationvalve)，并启动离子泵。

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当GunVacuum=5×10mBar时，可启动灯丝。若长期停机，需做烘烤。

9、开启灯丝。

10、开TV，检查样品台。

11、装样品(见第二部分)。

12、加高压(EHT)。

13、观察样品。

待机状态

1、关闭高压(EHT)。

2、关闭SmartSEM软件。

注意：分两步，先关用户界面UserInterface，后关后台程序EMServer。

3、关Windows。

4、必要时，关能谱、EBSD。

5、按下黄键

此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。电镜真空系统和灯丝继续工作。

待机状态启动

1、按下绿键。

按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：

好学近乎知，力行近乎仁，知耻近乎勇。——《中庸》

2、启动SmartSEM软件。

用户名：system密码：

3、检查真空值。

4、换样或加高压观察样品。

关机步骤

1、关高压(EHT)和灯丝。

2、关SmartSEM软件。

注意：分两步，先关用户界面UserInterface，后关后台程序EMServer。

3、关Windows。

4、关能谱、EBSD。

5、按下黄键，等待～10秒钟。

等待电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。

6、按下红键。

7、关循环水冷机。

8、必要时，关氮气总阀门。

9、必要时，关UPS。

10、必要时，关墙上空气开关。

烘烤步骤

1、确认高压(EHT)和灯丝关闭。

2、拨出高压电线。

先松开四颗螺丝，拔出高压头。

3、打开监控软件GunMonitor。

设置监控GunVacuum和SystemVacuum参数，时间间隔1s。

4、开始烘烤

菜单栏Tools→gotopanel→bakeout，打开Bakeout界面，设定加热时间8～20h，冷却时间设为2h，开始。

5、烘烤完成

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结束后检查枪真空值，一般小于1×10mBar。关闭GunMonitor。插入高压头，锁紧。

二、换样品

1、装试样。

在备用样品座上装好样品，并记录样品形状、编号和位置。

注意：各样品观察点高度基本一致。确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下。

2、关高压。

3、检查插入式探测器状态

打开TV，将EBSD等插入式探测器拉出。

4、放气。

点Vent等待～