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大直径硅单晶及抛光片项目发展计划
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大直径硅单晶及抛光片项目发展计划
目录
TOC\h\z32504序言 3
30006一、工艺先进性 3
4669(一)、大直径硅单晶及抛光片项目建设期的原辅材料保障 3
16720(二)、大直径硅单晶及抛光片项目运营期的原辅材料采购与管理 4
20816(三)、技术管理的独特特色 5
31386(四)、大直径硅单晶及抛光片项目工艺技术设计方案 7
8207(五)、设备选型的智能化方案 8
1062二、后期运营与管理 9
28975(一)、大直径硅单晶及抛光片项目运营管理机制 9
23
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