工作场所空气中三氯氢硅四氢化测定方法编制说明卫生网.pdfVIP

工作场所空气中三氯氢硅、四氢化硅的测定方法编制说明

《GBZ.T160.39-XXXX编制说明》

第一部分：工作场所空气中三氯氢硅的测定方法编制说明

本测定方法为2015年新方法：溶液吸收-钼酸铵-B分光光度法，

主要起草单位：重庆市疾病预制。主要起草人：煃。但未提交编制

说明。具体见《GBZ.T160-2015编制说明》。

第二部分：工作场所空气中四氢化硅的测定方法编制说明

1.研究概况

本课题于卫生标准技术职业卫生专业，项目编号为

2010-03-07。

课题组在充分收集和分析国内外现有资料的基础上，经现场调研、实验方案

设计、方法学各项指标的研究、现场及方法验证、征求专家意

见、实验数据统计，于2011年12月完成标准方法送审稿，现将标准制定的依据

作如下说明。

2.国内外限值及方法概况

2.1国家工业卫生医师(ACGIH)规定在职业环境里于四氢化硅

的8小时时间平均容许浓度(TLV-TWA)为7mg/m3，并被职业安全和

[1-2]。我国推荐的工作场所空气中四氢化硅的容许

健康（OSHA）所采用

3

浓度为7mg/m(PC-TWA)。

[2]

2.2OSHA测定四氢化硅用的方法是原子吸收分光光度法，但硅的

测定对石墨管有特殊要求，普通难以实施，故未采纳该方案。本方法属

国内创新。

3.方法研究内容及结果

3.1理化性质：四氢化硅，又名硅烷、甲硅烷，常温常压下为无色、有臭

味、易燃的气体。CAS号为7803-62-5，分子式SiH4，分子量32.12，液体

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密度(-185℃)711kg/m，气体密度(0℃，101.3kPa)1.44kg/m。不溶于水，也

不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿等[3]。

四氢化硅广泛应用于电子工业、能源工业、玻璃工业、化学工业及高科技

领域等多个行业和领域，其主要用做生产液晶TFT、能电池、、感

[4]

光体材料等。

3.2吸附剂的选择：常用的椰子壳活性炭中硅含量较高（340μg/g～953μg/g）

[5]，使用本法测定四氢化硅时对测定有严重干扰。参照国外研究经验，我们选

择了树脂基球形活性炭作采样吸附剂。该吸附剂原料中硅含量较低（0.31

[6]

μg/g～3.14μg/g），对四氢化硅的测定几乎无干扰，经碱溶液浸渍处理后对四

氢化硅有很好的采样效率、解吸效率和容量，完全满足工作场所空气中有

害物质采样规范的要求。

3

3.3解吸温度的选择：将碱性树脂基球形活性炭采样管与120mg/m的四氢化硅

标准气连接采样，样品分3组，每组8个，其中1个是空白对照管。