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《高铝含量AlTiCrN硬质膜的微观组织、相结构及性能研究》

一、引言

随着现代工业技术的快速发展，硬质膜材料因其优异的机械性能和化学稳定性，在切削工具、模具、机械零件等领域得到了广泛应用。其中，高铝含量的AlTiCrN硬质膜因其独特的物理和化学性质，在众多硬质膜材料中脱颖而出。本文旨在研究高铝含量AlTiCrN硬质膜的微观组织、相结构及其性能，为该类硬质膜的进一步应用提供理论依据。

二、实验方法

本实验采用磁控溅射法制备高铝含量AlTiCrN硬质膜，通过改变溅射功率、氮气流量等工艺参数，研究不同工艺参数对硬质膜性能的影响。利用X射线衍射（XRD）技术分析硬质膜的相结构，利用扫描电子显微镜（S