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大口径平面、球面、非球面镜测量设备调研报告
现代光学镜面的加工制造是一种动态变化的过程模式，为保证最终面形质量必然是经历了加工-检测-
加工的反复过程。因此为适应大口径元件的量产测试需求，测量设备在反复过程中的检测精度、稳定性和
DutchUnitedInstrumentsTNO、TU/e和VSL
效率直接影响到镜面加工的最终时间和成本。DUI（）在
成熟的技术基础上，推出了NMF
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