Inficon经济型单晶传感器和双晶传感器操作手册-中文.pdf

操作手册

引言

本手册为经济型单晶传感器和双晶传感器的安装,操作,维护和检修信息.

本产品自购买之日起保修期为一年.本保修覆盖正常状态下,正确使用下材料或工艺缺

陷.有关保修详情,请参阅INFICON网页.传感器的编号可在包装标签上找到.对于任

何必要的保修索赔,记录此编号是很必要的.

图1经济型传感器

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经济型传感器

Sensor

安装

传感器的安装位置要尽可能远离蒸发源(至少25.4厘米(10吋))同时仍要保持与基片沉积

成正比的沉积速率.图2表示正确与不正确的安装传感器方法.

图2正确与不正确的安装传感器方法

正确

不正确

障碍物

正确

不正确

不正确

源

注:为获得最佳的工艺重复性,请通过传感器背面的#4-40螺丝安装孔牢固地固定住传感

器,使它在维护和更换晶片的过程中不会移动.

为防止材料溅射到晶片,使用源挡板在打开前遮挡传感器.如果晶片被熔融物质的微小颗粒

击中,它可能会损坏并停止振荡.即使不完全停止振荡,也可能变得不稳定,或在沉积开始后

不久出现不稳定.

规划安装位置以确保无遮挡物阻挡传感器与源.传感器的安装方式为使晶片面直接对准监

控的源.验证传感器位置的角度(相对于源)是否在蒸发汽流中.如传感器不垂直于源,晶片

上的膜层将逐渐减弱(不均匀),使晶片寿命缩短.

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经济型传感器

注:在许多情况下,可采用多传感器均值功能,安装多个传感器来监视一个源可提高产品

的膜厚精度.多传感器的安装要求与单传感器相同,其位置选择应如图2所示.

有关这功能的详情,请查阅石英晶片微量天平(QCM)膜厚测量仪的操作手册.

安装步骤:

1在过程系统上安装传感器固定托架(由客户准备).

2按图2中的一般准则临时定位和安装传感器头.

3临时安装法兰.

4为达到需要的结果成形(弯曲),测量和标记传感器位置.

注意

切勿使传感器管的弯曲半径小于1.3厘米(0.5吋).

注意

当弯管时,切勿将传感器本体作为杠杆点;这样做会使管上焊接的

接头受力,并可能导致损坏.

注意

切勿在焊接接头的1.3厘米(0.5吋)内开始弯曲.

5构建传感器/法兰组装件.

6卸下传感器和法兰.

7切割水冷管至正确的长度.用压缩空气吹净,证实管内无金属微粒.

8将水冷管和空气管直接连接法兰,或使用真空快捷密封件.

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