真空设备操作维护保养规程.pdfVIP

百川东到海，何时复西归?少壮不努力，老大徒伤悲。——汉乐府

1．目的：按规定进行设备的管理，指导正确操作、使用、维护和保养设备，保证生产，

提高产品质量，改进环境绩效，预防和减少事故发生。

2．范围：本规程适用于真空泵及真空系统的使用和维护保养

3．操作规程

3.1旋片泵操作规程

3.1.1性能规范

型号：2X－70

几何抽速：70L/S；

极限压力：1帕；

泵转速：450转/分；

电机：Y132L-4功率：5.5KW；

电机转速：1440转/分；

配用三角带；B/1600：4根；

冷却水消耗量：480L/H；

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润滑油：1真空机械泵油（KK-1）储存量8Kg；

口径：进气90mm排气60mm。

3.1.2操作规范

3.1.2.1起动前的准备

（1）检查皮带的松紧程度，起动前可以松一些，起动后调节底座上的螺栓，慢慢拉紧，

以减少起动力矩。

（2）检查各部分有无松动现象，电机转向是否同泵的要求符合。

（3）检查油箱内的油位是否在视镜的两条油标线之间。

（4）对于长期未工作的泵，起动前应间断起动电机，检查是否灵活。

（5）检查冷却水是否正常（管路上水压表水压≤0.2－0.3MPa）、润滑油是否正常。

3.1.2.2起动

（1）打开冷却水阀。

（2）合上电源的开关，起动电机。

（3）泵启动后，再缓慢打开进气阀，以免泵的负荷急剧增加。

3.1.2.3停车

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停泵时应先关断进气口阀门，打开放弃阀法对泵放气。

3.1.3注意事项

3.1.3.1应经常注意油位及油的清洁，新泵工作150小时后换油一次，以后每2-3个月换油

一次，如使用条件不好，真空度下降，可以缩短换油时间。

3.1.3.2应经常保持泵及泵房的干燥清洁。

3.1.3.3注意泵温及冷却水和油的温度，水温在20-40℃之间，不应超过40℃，即泵温不超

过环境温度加上40℃。

3.1.3.4润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。

3.1.3.5入停车后泵温要下降至5℃以下时，泵内冷却水必须除净。

3.2罗茨真空泵操作规程

3.2.1性能规范

型号：RTO,300S;

抽气速率：300L/S；

极限压力：0.6帕；

进排气口径：160mm/100mm

配用电机：3KW

3.2.2操作规范

3.2.2.1起动前准备

（1）检查冷却水管是否畅通无阻（管路上水压表水压≤0.2MPa）。

（2）检查两端盖内的润滑是否足够，齿轮箱侧油位应以寖没3～4个齿高度为宜。电机侧

油位应以寖没1/3～1/2油窗高度为宜。润滑油封的油杯油位应在油杯高度的1/3～1/2之间。

（3）如果吸入气体中有粉尘或其它金属粉末，应在进气口前加装防尘或过滤装置，如果

吸入气体有腐蚀性，必须采取中和措施。

（4）检查各部分有无松动现象，较长时间不用后，应拆下旁通溢流阀，检查有无锈死。

（5）检查电机转向是否同泵体上的箭头一致。

3.2.2.2起动

（1）起动前级泵。

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（2）打开本泵的进气阀门。

（3）打开冷却水阀门，当容器压力达到工艺规定压力时，起动本泵。

（4）泵运转时应平稳，转子不得有冲击声。

（5）泵的轴封处不得有漏油现象。

（6）泵在运转过程中如局部升温过大，电流计读数突然发生变化，产生不规则的噪声或

其它异常现象，应立即停泵检查。

3.2.2.3停泵

（1）停泵时，应先停罗茨泵，再停前及泵，否则会导致罗茨泵出口压力升高，负荷增大