《电场增强阴极弧放电及Ti（Al,Cr）SiCN薄膜制备和性能研究》.docxVIP

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《电场增强阴极弧放电及Ti（Al,Cr）SiCN薄膜制备和性能研究》

一、引言

近年来，随着科技的进步和工业的发展，对于高质量的硬质涂层材料的需求不断增长。Ti（Al,Cr）SiCN薄膜因其具有优异的硬度、耐磨性、耐腐蚀性等特点，在众多领域得到了广泛的应用。本文着重研究了电场增强阴极弧放电在Ti（Al,Cr）SiCN薄膜制备中的应用，并对其性能进行了深入研究。

二、电场增强阴极弧放电

电场增强阴极弧放电是一种在真空环境中，通过高电压电场使阴极材料发生电离和蒸发，进而在基底上形成薄膜的技术。这种技术具有制备效率高、薄膜质量好等优点。然而，传统的阴极弧放电技术存在能量利用率低、稳定性差等问题。因此

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