INFICON 经济型单晶传感器数据表-中文.pdf

经济型单晶传感器

INFICON经济型单晶传感器通过低价格和延长晶片使用寿命最小化石英晶体微天平(QCM)系统的总成

本,为客户提供最低的初始投资将生产成本降至最低.我们还通过延长晶片寿命和减少维护为客户提供最

高的可用性.

INFICON经济型单晶传感器的设计和制造旨在为光学和批量镀膜工艺提供高精度膜厚监控和经济高效的

解决方案.

传感器配置

INFICON经济型单晶传感器有标准或直角两种型式.标准型设计用于从水管平行于晶片面的真空室侧面

或底部安装.直角型设计用于从水管垂直于晶片面的真空室顶部安装.

前装式晶片装填设计允许在侧面插入空间不足的应用中轻松地插入晶片底座.经济型传感器均与工业标

准的6MHz晶片兼容,更易于更换晶体,即使在最严酷的镀膜条件下也足够坚实耐用.

法兰

INFICON经济型传感器提供2.54厘米(1英寸)螺栓式法兰或CF40(2.75英寸)ConFlat®法兰.

馈入件连接

传感器/法兰连接可由用户自行焊接或用快速密封接头连接.快速密封接头易于调整长度,无需焊接.

水冷管的长度可切割以符合真空室的要求,我们也提供定制化长度方案,按需定制真空室内水冷管长度

和快速简易连接法兰.此外,如果使用自定义法兰或自行弯曲/连接传感器,可选择无法兰的选项,以便

客户现场焊接安装.

优越性

■最少投资和最低得前期成本

■最低整套系统成本

■最少维护,最大产出

■最佳系统性能,全球专家应用支持

■有两种配置

•标准(水管平行晶片面)

•直角(水管垂直晶片面)

■可提供

•2.54厘米(1吋)螺栓式法兰

•CF40铜垫密封式法兰

■当采用快速密封接头时,可调整水冷管长度

■提供挡板选件

订购资料

经济型单晶传感器

ERSE1注1:

–

传感器类型注2:

标准型传感器(水管平行)A

直角型传感器(水管垂直)B

注3:

真空电缆

无0

25.4厘米(10吋)真空电缆1

76.2厘米(30吋)真空电缆2

挡板组装件(见注1)

无0

挡板1

传感器长度(见注3)

标准:771毫米(30.35吋)

直角:776毫米(30.55吋)E

法兰

无0

1英寸螺栓式3

CF404

法兰连接

传感器未连接法兰0

快速密封接头(允许传感器水管进入法兰)9

未提供以下组合:ERS-BX1E1XX

传感器

真空电缆

法兰

15.2厘米(6吋)

BNC电缆

振荡器或XIU

经济型单晶传感器

2

技术规范

经济型标准单晶传感器

最高烘烤温度,无水175°C

通冷却水时最高工作温度400°C

尺寸(最大外尺寸,无挡板)3.25x4.04x1.53厘米(1.28x1.59x0.60吋)

尺寸(最大外尺寸,有挡板)