Inficon UL6000-Fab,-PLUS检漏仪操作说明书-中文.pdfVIP

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UL6000Fab™

UL6000FabPLUS™

™

氦气泄漏测试仪采用ULTRATEST传感器技术

550-520,550-530

最低软件版本

1.64(设备操作)iinc75zh1-04-(2403)

INFICONGmbH

BonnerStraße498

50968Köln，德国

INFICON目录

目录

1关于本说明手册

9

1.1目标群体

9

1.2警告提示

9

1.3术语定义

10

2安全

12

2.1按规定使用

12

2.2用户的义务

14

2.3对运营商的要求

14

2.4危险

14

3供货范围，运输，存放

16

4说明

19

4.1功能

19

4.2运行模式

19

4.2.1“真空”运行模式

19

4.2.2“吸枪”运行模式

20

4.3设备安装

21

4.3.1全套设备

21

4.3.2控制单元

24

START按键

25

STOP按键

26

ZERO按键

26

按键上的LED指示灯的含义

27

状态LED指示灯的含义

28

触摸屏的结构

28

4.3.3真空接口

30

入口

30

排气管

31

UL6000-Fab,-PLUS-操作说明书-iinc75zh1-04-(2403)iii

目录INFICON

喷洗气体接口

31

通风接口

32

4.3.4配件和控制信号的接口

33

4.3.5设备上的标志

34

4.4技术参数

34

4.5出厂设置

36

5安装

41

5.1架设

41

5.2连接随附提供的配件

45

5.3固定吸枪线SL3000的支架(配件，可选)

49

5.4将接受器/探头连接至入口法兰

49

5.5连接电源

50

5.6检查设备的功能

51

6运行

53

6.1