Inficon LDS3000, LDS3000 AQ 质谱仪模块操作说明书-中文.pdfVIP

译本操作说明书

LDS3000,LDS3000AQ

质谱仪模块

560-300,560-600

最低软件版本jiqa54zh1-14-(2403)

MS-Modul3.16

INFICONGmbH

BonnerStraße498

50968Köln，德国

INFICON目录

目录

1关于本说明手册

9

1.1随附文件

9

1.2警告提示

9

1.3目标群体

10

1.4术语定义

10

2安全

12

2.1按规定使用

12

2.2用户的义务

13

2.3对运营商的要求

13

2.4危险

13

3供货范围，运输，存放

15

4说明

16

4.1功能

16

4.2仪器构造

17

4.2.1整体设备(LDS3000)

17

4.2.2整体设备(LDS3000AQ)

18

4.2.3接线板

21

4.2.4MSB-Box

22

4.2.5设备上的标志

25

4.3技术参数

25

4.4出厂设置

27

5安装LDS3000

30

5.1使接口位置与装配情况相匹配

30

5.2将质谱仪模块装配在测试设备中

31

5.3选择接口ULTRA、FINE或GROSS

32

5.4建立组件间的连接

33

5.5建立电动连接

34

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)iii

目录INFICON

6安装LDS3000AQ（累积）

35

6.1使接口位置与装配情况相匹配

35

6.2将质谱仪模块装配在测试设备中

36

6.3选择部件并建立连接

38

6.3.1类型1

38

6.3.2类型2

41

6.4建立电动连接

43

7运行LDS3000

44

7.1接通仪器

44

7.2预设置

45

7.3选择泄漏率的单位

46

7.4选择压力单位

47

7.5选择兼容模式

47

7.6选择运行模式

49

7.7选择气体种类（质量）

50

7.8校准仪器

51

7.8.1时间和一般预设置

51

7.8.2配置和启动内部校准

53

7.8.3配置和启动外部校准

5