硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.docxVIP

ICS31.030

CCSL90

中华人民共和国国家标准

GB/T29056—XXXX代替GB/T29056-2012

硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定

电感耦合等离子体质谱法

DeterminationofimpuritycontentinTrichlorosilaneforsiliconepitaxyInductivelycoupledplasmamasssepectrometry

（预审稿）

（在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上）

XXXX-XX-XX发布

XXXX-XX-XX实施

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I

GB/T29056—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

本文件代替GB/T29056-2012《硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法》，与GB/T29056-2012相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：

a)更改了范围（见第1章，2012年版的第1章）；

b)增加了规范性引用文件（见第2章）；

c)增加了术语和定义（见第3章）；

d)更改了方法原理（见第4章，2012年版的第2章）；

e)增加了干扰因素（见第5章）；

f)更改了试剂和材料（见第6章，2012年版的第3章）；

g)更改了仪器设备（见第8章，2012年版的第4章）；

h)增加了样品采样的要求（见第9章）；

i)删除了分析步骤中的安全措施（见2012年版的第5章第1条款）；

j)更改了试验步骤中的试料、平行试验、仪器准备、工作曲线的绘制和测定步骤（见第10章，2012年版的第5章）；

k)更改了试验数据处理（见第11章，2012年版的第6章）；

l)更改了精密度要求（见第12章，2012年版的第7章）；

m)删除了质量保证与控制（见2012年版的第8章）；

n)更改了试验报告的部分内容（见第13章，2012年版的第9章）。

本文件不涉及专利。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。

本文件起草单位：洛阳中硅高科技有限公司

本文件主要起草人：

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：

——2012年首次发布；

——本次为第一次修订。

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GB/T29056—XXXX

硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

警告——使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。

1范围

本文件规定了硅外延用三氯氢硅中锂、硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、钼、砷、铅等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。

本文件适用于硅外延用三氯氢硅中杂质元素含量的测定。各元素测定范围见表1。

表1各元素测定范围

元素

测定范围（质量浓度ng/g）

锂

0.01～20

硼

0.01～20

钠

0.01～20

镁

0.01～20

铝

0.01～20

钾

0.01～20

钙

0.01～20

磷

0.01～20

钛

0.01～20

钒

0.005～20

铬

0.01～20

锰

0.01～20

铁

0.01～20

钴

0.005～20

镍

0.01～20

铜

0.01～20

锌

0.01～20

镓

0.01～20

钼

0.01～20

砷

0.005～20

铅

0.01～20

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

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