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托盘设计*2”PSS22片4”PSS7片更换托盘即可实现2英寸向4英寸的升级3.工艺模块2”GaN27片4”GaN7片基片控温*高性能,宽温度范围Chiller(-20℃~+40℃)高压力稳定性,低漏率的氦气控制(649规)氦气控压模块chiller模块3.工艺模块目录*概述电气模块工艺模块工艺腔室系统上电级和射频系统下电极系统真空系统温控系统气路系统传输模块工艺模块真空系统*真空获得2100L/s抽速分子泵:极限真空10-9mbar600m3/h抽速干泵:为分子泵提供前级真空压力压力控制摆阀真空规 保护二级角阀隔离阀3.工艺模块二级角阀100mT真空规10T真空规分子泵摆阀真空系统-分子泵特性*工艺模块*目录1.概述2.电气模块3.工艺模块3.1工艺腔室系统3.2上电级和射频系统3.3下电极系统3.4真空系统3.5温控系统3.6气路系统4.传输模块温度控制*加热型干泵颗粒收集装置3.工艺模块射频~调整支架加热工艺腔室腔体加热内衬加热加热型摆阀加热型分子泵隔离阀加热近端管道加热抽气腔室腔体加热射频~气体控制柜(BCl3气路加热)工艺气体管路加热NMCConfidential–DoNotCopy–NMCTrainingNMCConfidential–DoNotCopy–NMCTrainingClusterControlModulePlatformController:ConnectwithLoadPost、LoadLockandAligner,I/OPanelcontrolPMIPC:ControlPMfunctionpartsincludingtemperaturecontroller,VATPMcontrolbox:distributesignaltoPMcomponentsCTCIPC:ConnectTMC/PMCControllerbyEthernet:manageandassortwitheachPM17InchtouchLCDandmouseClusterControlModulePlatformController:ConnectwithLoadPost、LoadLockandAligner,I/OPanelcontrolPMIPC:ControlPMfunctionpartsincludingtemperaturecontroller,VATPMcontrolbox:distributesignaltoPMcomponentsCTCIPC:ConnectTMC/PMCControllerbyEthernet:manageandassortwitheachPM17InchtouchLCDandmouse*ELEDETM330ICPEtchingSystemOperationTraining*目录1.概述2.电气模块3.工艺模块3.1工艺腔室系统3.2上电级和射频系统3.3下电极系统3.4真空系统3.5温控系统3.6气路系统4.传输模块*目录1.概述2.电气模块3.工艺模块3.1工艺腔室系统3.2上电级和射频系统3.3下电极系统3.4真空系统3.5温控系统3.6气路系统4.传输模块设备规格*整机标配1PM+1TM+1CM设备占地(长×宽×高)2810×1447×1965维护空间(长×宽×高)3600×2750×2300托盘尺寸330mm单次处理片数蓝宝石:22片(2英寸),7片(4英寸)GaN:27片(2英寸),7片(4英寸)生产方式全自动,CassettetoCassetteCassette容量可装载5个托盘产能55wfs/Hr(2inchPSS),114wfs/Hr(2inchGaN),17wfs/Hr(4inchPSS),29wfs/Hr(4inchGaN)Uptime90%MT
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