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ICS29.045
CCSH82
团体标准
T/CNIAXXXX—XXXX
半导体外延用等静压石墨
Isostaticgraphiteforsemiconductorepitaxy
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
中国有色金属工业协会
发布
中国有色金属学会
T/CNIAXXXX-XXXX
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规
定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本文件由福建省品牌建设联合会提出并归口管理。
本文件由福建省标准化研究院牵头组织制定。
本文件主要起草单位：四川福碳新材料科技有限公司。
本文件参与起草单位：冶金工业信息标准研究院、深圳市纳设智能装备股份有限公司、湖南联合
半导体科技有限公司、湖南三安半导体有限公司、湖南德智新材料有限公司。
本文件主要起草人：吕尊华、陈炳安、王良均、余盛杰、姚亮、赖金亮、曾俊梅、吴承晚、……
本文件评审专家组长：
本文件由福建省标准化研究院负责解释。
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