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《Ag-C异质双靶高功率脉冲磁控放电特性及Ag-DLC薄膜制备》
Ag-C异质双靶高功率脉冲磁控放电特性及Ag-DLC薄膜制备摘要：
本文研究Ag/C异质双靶高功率脉冲磁控放电的物理特性，以及其应用于Ag-DLC（类金刚石）薄膜制备的工艺过程。通过实验研究，探讨了不同参数对放电特性的影响，以及如何通过优化参数制备出高质量的Ag-DLC薄膜。本文旨在为相关领域的研究和应用提供理论支持和实验依据。
一、引言
随着科技的发展，高功率脉冲磁控放电技术被广泛应用于薄膜制备、表面处理等领域。Ag/C异质双靶高功率脉冲磁控放电技术因其独特的物理特性和广泛的应用前景，逐渐成为研究的热点。本文将重点研究Ag/C
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