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基于ITO替代材料的透明电极制作报告人：朱爱青ITO的概述什么是ITO?ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。而ITO导电玻璃是在纳钙基或硅硼基基片玻璃上，利用溅射、蒸发等多种方法镀上一层ITO薄膜加工制作而成。液晶显示器专用ITO导电玻璃有时还要在中间镀上一层阻挡层，，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强；01ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”；02ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质；03ITO在600度以下会随着温度的升高，电阻增大。04ITO导电膜的特性ITO导电玻璃的分类1.按电阻分：高电阻玻璃（150~500Ω）——用于静电防护、触摸屏制作普通玻璃（60~150Ω）——用于TN类液晶显示器和和电子抗干扰低电阻玻璃（小于60Ω）——用于STN液晶显示器和透明线路板2.按尺寸分:14x14、14x16、20x24等规格按厚度分：2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格按平整度分：抛光玻璃和普通玻璃注：0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品不允许有裂纹，TN型ITO导电玻璃镀膜面不允许有不可去除的高度超过0.1mm的粘附物；STN型ITO导电玻璃镀膜面不允许有不可去除的高度超过0.05mm的粘附物。01玻璃体点状缺陷：包括气泡、夹杂物、表面凹坑、异色点等。点状缺陷的直径定义为：d=(缺陷长+缺陷宽)/2。01玻璃体线状缺陷(宽度W)：包括玻筋、光学变形。01外观质量01020304不容许叠放，一般要求竖响放置，平放操作时，尽量保持ITO面朝下；取放时只能接触四边，不能接触导电玻璃ITO表面；轻拿轻放，不能与其它治具和机器碰撞；长时间存放要注意防潮，以免影响玻璃的电阻和透过率；使用和贮存对于大面积和长条形玻璃，在设计排版时要考虑玻璃基片的浮法方向。01ITO导电玻璃应贮存在室温条件下，湿度在65%以下干燥保存；贮放时玻璃保持竖向放置，玻璃间堆放不可超过二层，木箱装ITO导电玻璃货物堆放不可超过五层。纸箱装货ITO导电玻璃货物，原则上不能堆放。03ITO导电玻璃的贮存方法：02电化学扩散工艺：在玻璃上用电化学扩散方法可获得掺杂超导薄膜。玻璃在电化学处理装置中与熔融金属或化合物接触，在一定的电场作用下，熔融金属或化合物中的离子会扩散到玻璃表面，玻璃中的一价碱金属离子离解处来，等量地扩散至阴极表面，使玻璃表面的化学组成发生变化。制造工艺高温喷涂和等离子体喷涂工艺：这种技术是将粉末状金属或非金属、无机材料加热至熔化或未熔化状态，并进一步加温使其雾化，形成高温高速焰流喷向需喷涂的玻璃基体。采用这种方式可以先在基体上制备YBaGUOx等涂层，在经过热处理可成为超导性材料。12纳米金属网格（metalmesh）纳米金属蒸镀（Nanometal）有机透明导电膜银纳米线石墨烯碳纳米管010203040506ITO替代的一些新技术新型透明电极材料新型电极材料有涂布型ito、Ag线墨、ZnO、Ag丝、导电性高分子。这些材料的共同特点：1.柔软及弯曲性出色2.色调好3.易降低成本4.形成透明电极的基材选择自由度高