电子级四氯化钛 编制说明.docx

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《电子级四氯化钛》编制说明（征求意见稿）

一、工作简况

1.1标准立项目的与意义

电子级四氯化钛是集成电路存储器制造领域的重要原材料之一，也是电子级二氧化钛、钛酸钡、特种高纯合成石英的原材料，还可用于生产高纯钛、海绵钛等，目前国内已有少量产业化，并开始供应给国内存储器制造厂商，逐步在替代进口；在特种高纯合成石英方面已有批量应用。

电子级四氯化钛在国际和国内都还没有明确的标准可以参考，现行的行业标准《YS/T655-2016四氯化钛》为工业级标准，其中只检测四氯化钛中的SiCl4、FeCl3、VOCl3、AlCl3、SnCl4五种杂质的纯度，减去上述五种杂质后为四氯化钛的纯度，而四氯化钛中不仅仅只有上述五种杂质，故而其测试所得纯度并不准确；另外，上述五种杂质含量在几个至几十ppm级别，完全无法满足集成电路等行业对金属离子ppb级甚至更低的要求。

《国家标准化发展纲要》中指出要推动标准化与科技创新互动发展，加强关键技术领域标准研究，在两化融合、新一代信息技术、大数据、区块链、卫生健康、新能源、新材料等应用前景广阔的技术领域，同步部署技术研发、标准研制与产业推广，加快新技术产业化步伐。2022年国家标准委《2022年国家标准立项指南》也指出要丰富标准的供给渠道，并在重点支持的领域中强调要研制关键基础标准。研制电子级四氯化钛标准正是对国家标准化发展战略的积极响应，对国家政策文件的践行落实。

1.2任务来源

2023年12月国家标准化管理委员下达了《电子级N-甲基-2-吡咯烷酮》（标准计划号T-469）国家标准计划，由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口管理，由武汉新硅科技潜江有限公司牵头起草，项目周期18个月，标准类别：产品，国际标准分类号：31.030。

1.3主要工作过程

1.3.1预研阶段

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2023年在全国半导体设备和材料标准化技术委员会的组织下，成立了以武汉新硅科技潜江有限公司牵头的标准编制小组，小组成员优负责电子级四氯化钛生产及质量检测的相关技术人员组成，有着丰富的生产及分析检测经验，对国内外本产品的发展有比较清晰的认识，标准编制小组充分开展了调研工作，调研了电子级四氯化钛的测试方法、市场应用、钢瓶包装等相关情况。

1.3.2起草阶段

项目计划下达后，标准编制小组根据电子级四氯化钛的生产与使用经验，并与行业内相关单位的技术人员进行了充分的沟通和交流，通过查阅大量的文献，比较了国内外电子级四氯化钛的品质情况，调研和调查了相关客户的质量要求，几十召开现场工作会议讨论标准内容，按照国家标准编制原则、框架要求和国家的法律法规，编制组及时修改标准文本，形成了《电子级四氯化钛》标准讨论稿和编制说明。

2024年6月12日由全国半导体设备和材料标准化技术委员会组织，在苏州召开了《电子级四氯化钛》国家标准启动会，与会专家对《电子级四氯化钛》标准文本进行了详细地讨论并提出了修改意见，会后，编制小组根据专家组意见对标准文本进行了修改和完善，形成了国家标准《电子级四氯化钛》征求意见稿及编制说明。

2024年12月12日至13日，全国半导体设备和材料标准化技术委员会2024年度工作会议期间，专家组对《电子级四氯化钛》征求意见稿进行了详细的讨论和评审，并提出了多条修改意见，如①对“表1技术指标”增加备注说明、②“5.1含量检测”中增加气相色谱条件、③将“5.2元素离子含量检测”内容从原文件作为附录调整为到文件正文中、④增加“检测结果评价”章节、⑤部分序号或文字错误等。以上修改意见，已全部按专家意见进行了完善征求意见资料。

1.4主要参加单位和工作成员及其所做的工作

标准牵头主编单位武汉新硅科技潜江有限公司位于湖北省潜江市，专注于高纯光电子材料18年，是国内产销量最大的高纯四氯化硅生产商之一，产品涵盖电子化学品、前驱体、化合物半导体等，在光纤、光伏、半导体、合成石英等领域有广泛的应用。企业获得了湖北省科技进步“三等奖”、“中小企业创新奖”、“单项冠军产品”、工信部“工业强基一条龙”、“专精特新小巨人”等荣誉，获得了专利30余项，参与国家、行业标准5项。

本文件牵头单位武汉新硅科技潜江有限公司组织了标准起草和实验、复验等工作，南大光电半导体材料有限公司参与了复验工作，并在标准研制过程中给予了积极的反馈。

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本文件主要起草人李楷东统筹了标准的申报工作，作为标准编制主要负责人主持了标准文本和编制说明的编写，跟进标准修订进度，推进标准稳步完善。何寿林负责标准中产品指标及安全相关事项的编写