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集成电路制造工艺
集成电路制造工艺
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微电子的发展史及动态
•1947年第一个晶体管发明
５0年代：晶体管时代
铝栅PMOS器件结构
80年代：VLSI－提高效率和质量
•MOSEFT集成电路超过双极IC;CMOS代NMOS
•在个人电脑、移动通信、
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