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摘要
摘要
铜薄膜在电子器件及锂离子电池中有着重要的应用，随着电子产品轻量化
发展，在满足性能要求的前提下，铜薄膜需尽可能做薄。此外，为了满足应用上
的需求，时常还需对铜薄膜表面进行适度粗糙处理。而铜薄膜在制备加工过程中
常产生孪晶。厚度、粗糙表面、孪晶结构对铜薄膜性能均有影响，目前关于上述
因素对铜纳米薄膜力学性能影响的研究还不够系统深入，阐明上述因素对其力
学性能的影响对铜薄膜的应用十分重要。本工作运用分子动力学方法，模拟
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