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ICS25.010.99
CCSJ.70
EJCCCSE
团体标准
T/EJCCCSEXXX—2024
Glasswafer混酸喷淋蚀刻机
Glasswafermixedacidsprayetchingmachine
（征求意见稿）
在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。
2024-XX-XX发布2024-XX-XX实施
中国商业股份制企业经济联合会发布
T/EJCCCSEXXX—2024
目次
前言II
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4材料要求1
5组成1
6主参数2
7加工参数2
8安装必备条件2
9正常工作条件3
10技术要求3
11试验方法4
12检验规则5
13标志、包装、运输和贮存6
I
T/EJCCCSEXXX—2024
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本文件由中国商业股份制企业经济联合会提出并归口。
本文件起草单位：州安田丰科技有限公司、安田丰技术（江苏）有限公司、安瓴企业管理（苏州）
有限公司。
本文件主要起草人：王炫铭、王静、王伟。
II
T/EJCCCSEXXX—2024
Glasswafer混酸喷淋蚀刻机
1范围
本文件规定了glasswafer混酸喷淋蚀刻机（以下简称蚀刻机）的术语和定义、基本要求、技术
要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于通过化学反应对12英寸及以下玻璃晶园工件表面进行腐蚀加工的蚀刻机的制造和检
验。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
GB/T191包装储运图示标志
GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技术条件
GB8978污水综合排放标准
GB/T10069.3旋转电机噪声测定方法及限值第3部分:噪声限值
GB/T13306标牌
GB/T13384机电产品包装通用技术条件
GB50661钢结构焊接规范
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
喷淋蚀刻机Sprayetchingmachine
一种通过化学反应对晶片工件表面进行
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